本发明提供了一种AFM针尖磨损测量方法，属于原子显微镜的探针标定技术领域。包括如下步骤，基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1；基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2；根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸。本发明提供的AFM针尖磨损测量方法，通过基于已知针尖尺寸的AFM与待测针尖尺寸的AFM测量相同的纳米台阶结构，并依据可直接获取的结构参数计算获得待测针尖的尺寸参数，操作简单，可以实时进行测量，为AFM的测量和实验结果分析提供准确的针尖结构数据，测量结果真实可靠。
