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本发明提供了一种固溶有氧的TiZrVAl合金的热处理方法，其包括：将固溶有氧原子的TiZrVAl合金装入模具内，再将材料在模具内进行电场和压力辅助高温半熔态压缩，加载脉冲电流，使TiZrVAl合金升温至800‑1000℃，保温8‑12min后继续加载脉冲电流，使TiZrVAl合金升温至1450℃后，然后使TiZrVAl合金的温度在1400‑1450℃之间波动5‑15次，断电自然冷却。这种热处理方法能够使TiZrVAl合金内部析出的δ'‑ZrO尺寸细小，同时实现均匀分布，从而提高合金组织性能的均匀性以及综合力学性能。