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一种原位刻蚀金刚石的方法

专利号：ZL202210672789.X

专利类型：发明授权

发明人：张利强; 郭云娜; 贾鹏; 梁雅莉; 黄建宇

公开（公告）日：2023-12-12

转化方式：转让、许可、作价入股

联系人：周老师

联系电话：0335-8518633

发明人 张利强; 郭云娜; 贾鹏; 梁雅莉; 黄建宇 公开（公告）日 2023-12-12
专利类型 发明授权 转化方式 转让、许可、作价入股
联系人 周老师 联系电话 0335-8518633
本发明公开了一种原位刻蚀金刚石的方法，涉及金刚石刻蚀技术领域。本发明在反应气体气氛下，利用会聚电子束对金刚石进行刻蚀，具有加工精度高、工艺简单、成本低、效率高的特点，可实现金刚石的定向刻蚀，且加工后的金刚石样品干净无污染，无需再处理，可节省大量时间和资源。

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