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一步法制备MoS2/WS2水平异质结多晶薄膜的方法

专利号:ZL202210495206.0

专利类型:发明授权

发明人:聂安民; 康梦克; 向建勇; 翟昆; 牟从普; 薛天宇; 温福昇; 王博翀; 柳忠元; 田永君

公开(公告)日:2024-7-12

转化方式:转让、许可、作价入股

联系人:周老师

联系电话:0335-8518633

发明人 聂安民; 康梦克; 向建勇; 翟昆; 牟从普; 薛天宇; 温福昇; 王博翀; 柳忠元; 田永君 公开(公告)日 2024-7-12
专利类型 发明授权 转化方式 转让、许可、作价入股
联系人 周老师 联系电话 0335-8518633
本发明涉及一步法制备MoS2/WS2水平异质结多晶薄膜的方法,属于无机纳米半导体材料领域,将装有硫粉的刚玉舟放于多温区管式炉上游低温区;将氧化钨与氯化钠混合粉、铬粉、氧化钼粉依次分开放于管式炉下游高温区的长刚玉舟上游;通入惰性保护气体,将多温区管式炉各个温区升温至目标温度使前驱体蒸发,在载气的带动下在多温区管式炉下游位置反应并沉积于放置在长刚玉舟下游的基底上,形成小晶粒多晶MoS2/WS2水平异质结薄膜。本发明仅需一步便能够在两个小时左右的时间内制备得到晶粒尺寸微小、结晶度好、多晶样品尺寸大的单层MoS2/WS2水平异质结连续多晶薄膜,反应所用的原料来源广泛、成本低廉,且操作安全、简单。

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