一种透射电子显微镜检测区域的定位方法,其主要是:将标记好的样品放入配有侧插式样品台的透射电子显微镜样品杆,确保样品上标记的直线平行于样品杆的轴向方向。样品检测时,每完成一个检测区域的数据采集工作时,需记录样品杆参数:X、Y、Z、α、β,其中X、Y、Z为正在检测区域的坐标值,α、β为此时样品杆的两个倾转角。对于需要补充数据的检测区域,根据记录的样品杆参数:X、Y、Z、α、β,采用下式计算得出其目前坐标X0、Y0 : 其中X0、Y0为再次检测时上次检测区域此时的坐标值,根据X0、Y0坐标找到指定区域。本发明不需要添加硬件设备,操作简单,易行;而且计算简单,易于编程实现;可用于透射电子显微镜样品再次检测时定位之前检测的区域。