本发明公开了一种混合结构太阳能电池的制备方法，属于半导体太阳能电池技术领域，包括如下步骤：a、在反应系统中，以底层掺杂薄膜的制备温度，在衬底表面制备底层掺杂薄膜；b、在反应系统中，以上层掺杂薄膜的制备温度，在底层掺杂薄膜表面制备上层掺杂薄膜；c、在上层掺杂薄膜表面旋涂金属催化剂颗粒或利用金属薄膜退火技术在上层掺杂薄膜表面制备催化剂颗粒；d、在反应系统中，以底部掺杂纳米线的制备温度，利用催化剂颗粒制备底部掺杂纳米线；e、在反应系统中，以顶部掺杂纳米线的制备温度，利用催化剂颗粒制备顶部掺杂纳米线；f、待反应系统降至室温后, 完成混合结构太阳能电池的制备。本发明所制备的太阳能电池光电转换效率高。
