本发明提供了一种基于混合表面等离子体波导的高带宽功率分束器，属于一种光功率分束器，包括外包层、设置在所述外包层里面的两根条形波导以及设置在所述两根条形波导之间的交错锯齿结构，所述两根条形波导包括一根硅波导和一根混合表面等离子体波导，所述混合表面等离子体波导包括自下而上顺序叠接的硅基层、低折射率层和金属层，所述外包层和低折射率层的波导材料为二氧化硅，所述硅波导、硅基层和交错锯齿结构的波导材料为硅，所述金属层的材料为金, 光从所述混合表面等离子体波导的输入端进入波导后在所述硅波导和所述混合表面等离子体波导中耦合传输实现功率分束。本发明有高宽带、尺寸小、结构简单等优点。
