本发明公开了一种平面阵列电容成像方法及系统，涉及图像重建技术领域。本发明中，平面电容成像系统包括电容传感器、数据测量及采集模块、计算机；电容传感器将被测物的物场介质的分布转化为电容值；数据测量及采集模块用于测量和采集任意两个电极片间的电容值，并将测得电容数据传输至计算机；计算机通过模糊C均值聚类算法对电容数据进行数据优化，将优化后的电容值作为图像重建值，并结合非迭代图像处理算法或迭代图像处理算法进行缺陷图像的重建，得到重建图像。与传统成像方法相比较，本发明能解决电容数据受电极片位置影响及检测环境的噪声干扰的问题，得到更加稳定、高质量的被测场图像。
