本发明公开了一种利用通电耦合等离子体处理有毒气体的系统和方法,所述系统包括:Plasma发生装置、Plasma电压调节器、净化装置、进气通道、气体检测装置;Plasma发生装置用于产生等离子体;净化装置位于Plasma发生装置内部,用于净化有毒气体;所述方法为:调节Plasma电压调节器使Plasma发生装置内部产生等离子体;有毒气体分子在等离子体作用下,形成各种微小粒子,与净化装置发生反应;气体检测装置检测Plasma发生装置排出的气体,决定是否排放。通过电离作用,有毒气体分子被击穿形成微小粒子,与净化装置反应,达到有效净化处理的目的,也为其他有毒气体净化处理提供技术参考。