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本发明涉及一种新型亚像素分辨率衍射成像方法，属于成像技术领域，具体步骤包括光路布置、单次照明、数据采集、测量数据传至终端并构建优化模型、利用衍射强度图样重建图像、高斯噪声滤波和判断是否可以终止算法。本发明依据相干光照明成像的原理，设计了基于高分辨率空间光调制器的数据采集系统，与现有光学系统相比，本发明材料及制备工艺简单，能够利用较低分辨率相机重建出比相机分辨率明显高的物体图像，成本低，效果好。