本发明公开了一种表面微小损伤的高精度量化方法,采用激光扫描仪对被测样件表面进行扫描得到损伤形貌的三维点云数据,对于高速滑动电接触损伤形貌的高精度测量问题,根据扫描数据线型分布的特点,提出了以扫描数据的每条扫描线为处理对象,采用迭代求差的方法,提取出损伤边界点。利用最近邻域搜索的方法确定位于同一边界线上的边界点,根据以上结果结合数据配准技术,提取出损伤区域,在此基础上结合三角剖分思想把损伤区域的点云数据进行三角剖分,剔除不同损伤区域边界产生的异常三角形后,计算得到高精度的损伤区域体积和质量,为减小表面损伤措施的建立提供重要依据,提高了提取的损伤形貌的精度。