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一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法

专利号:ZL201810186946.X

专利类型:发明授权

发明人:闫志刚; 郑春雷; 林耀军

公开(公告)日:2020-8-14

转化方式:转让、许可、作价入股

联系人:周老师

联系电话:0335-8518633

发明人 闫志刚; 郑春雷; 林耀军 公开(公告)日 2020-8-14
专利类型 发明授权 转化方式 转让、许可、作价入股
联系人 周老师 联系电话 0335-8518633
一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法,通过对透射电镜块体样品薄区孔的记录,来测量透射电镜块体样品再检测时相对第一检测时的旋转角度,求出第二次检测时透射电镜块体样品坐标系相对第一次检测时样品坐标系的旋转矩阵,进而根据第一次检测时特征区域的样品台坐标X、Y、Z、α、β来计算第二次检测的新坐标,可快速找到这些特征区域,实现使用透射电镜对同一特征区域进行数据补充,也可用于确保样品在不同透射电镜下检测同一特征区域。本发明具有以下优点:不需要添加硬件设备,操作简单,易行;而且计算简单,易于编程实现,可作为透射电子显微镜精确分析的辅助工具。

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