本发明公开一种原子力显微镜探针针尖的修锐方法，涉及精密工程技术领域，包括将配置好的溶液滴在原子力显微镜工作台上的载玻片上以在载玻片上形成液滴；配置好的溶液的溶质为金刚石粉末；用配置好的溶液浸润待磨探针针尖；将原子力显微镜工作模式设置为液下轻敲模式，控制待磨探针逼近载玻片表面直至待磨探针悬臂梁完全浸没于载玻片表面上的液滴中；设置探针振动参数、探针扫描参数以及修锐时间，开始待磨探针针尖修锐；评定修锐后的探针针尖，完成修锐。本发明在原子力显微镜液下轻敲模式，通过自激震荡的探针针尖与溶液中金刚石颗粒的磨削作用来修锐探针针尖，此方法简单有效，易于实施。
