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一种双极结型晶体管及其制备方法

专利号:ZL202111113203.8

专利类型:发明授权

发明人:周春宇; 尚建蕊; 李作为; 关义春; 李书林; 耿欣; 蒋巍; 乔世峰

公开(公告)日:2023-11-7

转化方式:转让、许可、作价入股

联系人:周老师

联系电话:0335-8518633

发明人 周春宇; 尚建蕊; 李作为; 关义春; 李书林; 耿欣; 蒋巍; 乔世峰 公开(公告)日 2023-11-7
专利类型 发明授权 转化方式 转让、许可、作价入股
联系人 周老师 联系电话 0335-8518633
本申请属于半导体集成电路技术领域,特别是涉及一种双极结型晶体管及其制备方法。现有双极结型晶体管增益小特征频率小,并要求小尺寸化。本申请提供了一种双极结型晶体管,在第一方向上,包括依次设置的n型Si衬底、p+发射区、SiO2浅沟道隔离结构、SiO2层、鳍型半导体n型基区、SiC应变外延层和P型集电区,第一方向为由衬底指向P型集电区的方向;鳍型半导体n型基区上设置有P型集电区;SiO2层上设置有发射极接触,SiC应变外延层上设置有基极接触,P型集电区上设置有集电极接触;SiC应变外延层对鳍型半导体n型基区和P型集电区同时施加单轴压应力,空穴迁移率增加,减小基区与集电区渡越时间,增加器件的特征频率。

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