一种集成电容微型六维力传感器，其包括力加载平台、弹性体、基座、保护罩、平行板电容PCB以及相应的电容值数据采集电路，其中力加载平台与弹性体固连，两块平行板电容PCB分别固定在弹性体和基座上，弹性体与基座之间通过定位槽进行定位，弹性体与基座之间设有调整垫片，保护罩与基座固连，电容值数据采集电路板固定在保护罩底部，并通过数据采集引线与平行板电容PCB对应的电容极板连接；加载力通过力加载平台作用到弹性体上，弹性体受力变形致使两块平行板电容PCB发生相对位移，对应电容值发生变化，电容值数据采集电路采集各个通道的电容值，进行解耦，得到加载六维力。本发明灵敏度高、成本低、能够实现低功耗测量。
